ในการเปิดตัว Surface Pro 3 นั้น ไมโครซอฟท์ระบุเพียงว่าจะมีซีพียู Core i3, Core i5 และ Core i7 ให้เลือก โดย Core i5 จะเหมือนกับ Surface Pro 2 กล่าวคือซีพียู Core i5-4300U ที่ 1.6 กิกะเฮิรตซ์ (สามารถเร่งผ่านเทคโนโลยี Turbo Boost เป็น 2.9 กิกะเฮิรตซ์) พร้อมชิปกราฟิก HD 4400 แต่ไม่ได้ระบุรายละเอียดของซีพียูรุ่นอื่นชัดเจน

เว็บไซต์ ZDNet ได้สอบถามไมโครซอฟท์ที่งานเปิดตัว Surface Pro 3 และได้คำตอบเรื่องซีพียู ดังนี้

• รุ่น Core i3 จะเป็น Core i3-4020Y ที่ 1.5 กิกะเฮิรตซ์ ชิปกราฟิก HD 4200
• รุ่น Core i7 จะเป็น Core i7-4650U ที่ 1.7 กิกะเฮิรตซ์ (สามารถเร่งผ่านเทคโนโลยี Turbo Boost เป็น 3.3 กิกะเฮิรตซ์) ชิปกราฟิก HD 5000

บริษัทเปิดรับจองรุ่นย่อยที่ใช้ซีพียู Core i3 และ Core i7 แล้ว และจะเริ่มส่งมอบสินค้าในเดือนสิงหาคมเป็นต้นไป

ZDNet ยังเผยว่า แบตเตอรี่ที่มากับ Surface Pro 3 ยังมีความจุเท่ากับ Surface Pro 2 คือ 42 วัตต์-ชั่วโมง ส่วนการสนับสนุนการต่อจอภาพภายนอกนั้น รุ่น Core i3 รองรับจอภาพที่ความละเอียด Full HD ที่ 60 เฮิรตซ์ 2 จอภาพ ส่วน Core i5 และ Core i7 รองรับจอภาพที่ความละเอียด 2880x1800 พิกเซล ที่ 60 เฮิรตซ์ 2 จอภาพได้สบายๆ

ที่มา: ZDNet